在超臨界狀態(tài)下，氣體和液體之間不再有界面存在，而是成為介于氣體和液體之間的一種均勻的流體。這種流體逐漸從凝膠中排出，由于不存在氣液界面，也就不存在毛細(xì)作用，因此不會引起凝膠體的收縮和結(jié)構(gòu)的破壞，直至全部流體都從凝膠中排出，得到充滿氣體的，具有納米孔結(jié)構(gòu)的材料。

超臨界干燥裝置由高壓釜及其控溫裝置組成。常用的干燥介質(zhì)是甲醇、乙醇和二氧化碳三種，由于甲醇、乙醇易燃、易爆，在大規(guī)模制備時多采用二氧化碳作干燥介質(zhì)。

在超臨界狀態(tài)下的流體，氣-液界面消失，表面張力不復(fù)超臨界干燥存在，此時凝膠毛細(xì)孔中就不存在由表面張力產(chǎn)生的附加壓力，因此在超臨界流體條件下的干燥，就可以保持凝膠原先的分散結(jié)構(gòu)，從而可以避免常溫干燥和烘烤干燥等常規(guī)干燥技術(shù)在干燥過程中由于強(qiáng)烈的毛細(xì)管收縮作用造成的物料或納米粒子的團(tuán)聚和凝并，防止材料基礎(chǔ)粒子變粗，比表面急劇下降以及孔隙大量減少等后果。